长春国科精密光学技术有限公司上海分公司
- 公司规模:50-150人
- 公司性质:国企
- 公司行业:电子技术/半导体/集成电路
公司介绍
1企业简介
长春国科精密光学技术有限公司是在科技部、国家科技重大专项、中科院及地方政府的支持下,由长春光机所、上海光机所等四家单位于2014年8月联合成立,注册资本9.26亿元 。公司总部位于吉林省长春市,在上海设有高端光刻机照明系统研发分公司,长春总部牵头并负责投影物镜系统研发制造,上海分公司负责照明系统研发制造。
上海分公司以中国科学院上海光学精密机械研究所关键技术(高端光刻机部件技术、信息光电子技术、精密光电测控技术、复杂非成像光学系统整体设计与仿真、深紫外激光光束整形与控制、照明光场均匀化与校正、深紫外激光脉冲能量探测等)为基础,致力于高端光刻机照明系统、非常规光学元器件、高端光电检测仪器与设备等研发与制造。
2 发展历程
长春国科诞生于国家使命,经历了转制与蜕变,成为基础研究与工程技术并重,集研发、生产、市场开发于一体的现代化高科技企业。
2007年09月,02专项光刻机曝光光学系统启动立项论证
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所-负责投影物镜研发
中国科学院上海光学精密机械研究所-负责照明系统研发
2009年07月,“高NA浸没曝光照明系统关键技术研究”课题启动
2014年08月,长春国科精密光学技术有限公司和上海事业部成立
2016年01月,02专项“浸没式照明系统研制与小批量生产能力建设”任务启动
2017年04月,90nm光刻机照明系统通过出所验收并交付光刻机整机单位进行集成测试
2017年10月,90nm光刻机照明系统在整机环境下完成性能与工艺测试,获得85nm极限光刻分辨率
2018年01月,上海事业部转制成立长春国科精密光学技术有限公司上海分公司。
3 技术成果
在高端光刻机照明系统方面,团队先后承担02专项任务共5项,承担光刻机整机单位委托的KrF光刻机照明系统产品研发任务1项,研制成功国内首套90nm光刻机照明系统。
2017年04月,与光刻机整机单位联合完成90nm光刻机照明系统验收测试(FAT);
2017年10月,照明系统与投影物镜一起在90nm光刻机上通过02专项组织的验收测试(SAT),达到项目任务合同书规定的考核指标;
2018年3月“高NA浸没曝光照明系统关键技术研究”课题通过02专项正式验收。
4 团队建设
通过承担“国家科技重大专项02专项”核心光学任务,公司建立了一支以百余名硕士、博士研究为主体的研发团队。在高端光刻机照明系统方面,获得国内外授权发明专利100余项,在复杂非成像光学系统整体设计与仿真、深紫外激光光束整形与控制、照明光场均匀化与校正、深紫外激光脉冲能量探测等领域的技术水平处于国内领先地位。团队长期从事光机电算一体化技术、仪器设备研发与产品化,尤其在深紫外光学技术方面,拥有丰富的技术经验。
目前公司整体人员规模200余人,上海分公司团队成员70余名,其中硕士、博士学历占比52%,形成了一支以80、90后为主力军的年轻队伍。
我们始终秉承坚定目标、不辱使命,立足脚下、开创未来的经营宗旨和理念;坚持发现人才,尊重人才,以人为本,互相成就的用人理念;打造鼓励创新、不断突破、追求卓越的文化氛围,培养了一批具有责任感、创新精神的优秀人才,致力于为高端光刻机照明系统国产化奠定技术与人才基础。
5 平台建设
研发场地:拥有1210m2研发实验室,包括950m2超净室、260m2普通实验室;
研发设备:拥有数十台(套)精密检测设备,包括照明系统集成测试平台(2套)、ArF激光器、中心偏检测仪、激光干涉仪、光学镜面定位仪、非球面检测仪、光学定心车床等。
如果您希望与我们一起探索光刻世界的奥秘,如果您与我们一样立志为国家科技事业贡献一份力量,如果您相信自己具有创造奇迹的能力,欢迎您加入我们!您的梦想我们帮您实现,公司的愿景,让我们一起努力实现!
长春国科精密光学技术有限公司是在科技部、国家科技重大专项、中科院及地方政府的支持下,由长春光机所、上海光机所等四家单位于2014年8月联合成立,注册资本9.26亿元 。公司总部位于吉林省长春市,在上海设有高端光刻机照明系统研发分公司,长春总部牵头并负责投影物镜系统研发制造,上海分公司负责照明系统研发制造。
上海分公司以中国科学院上海光学精密机械研究所关键技术(高端光刻机部件技术、信息光电子技术、精密光电测控技术、复杂非成像光学系统整体设计与仿真、深紫外激光光束整形与控制、照明光场均匀化与校正、深紫外激光脉冲能量探测等)为基础,致力于高端光刻机照明系统、非常规光学元器件、高端光电检测仪器与设备等研发与制造。
2 发展历程
长春国科诞生于国家使命,经历了转制与蜕变,成为基础研究与工程技术并重,集研发、生产、市场开发于一体的现代化高科技企业。
2007年09月,02专项光刻机曝光光学系统启动立项论证
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所-负责投影物镜研发
中国科学院上海光学精密机械研究所-负责照明系统研发
2009年07月,“高NA浸没曝光照明系统关键技术研究”课题启动
2014年08月,长春国科精密光学技术有限公司和上海事业部成立
2016年01月,02专项“浸没式照明系统研制与小批量生产能力建设”任务启动
2017年04月,90nm光刻机照明系统通过出所验收并交付光刻机整机单位进行集成测试
2017年10月,90nm光刻机照明系统在整机环境下完成性能与工艺测试,获得85nm极限光刻分辨率
2018年01月,上海事业部转制成立长春国科精密光学技术有限公司上海分公司。
3 技术成果
在高端光刻机照明系统方面,团队先后承担02专项任务共5项,承担光刻机整机单位委托的KrF光刻机照明系统产品研发任务1项,研制成功国内首套90nm光刻机照明系统。
2017年04月,与光刻机整机单位联合完成90nm光刻机照明系统验收测试(FAT);
2017年10月,照明系统与投影物镜一起在90nm光刻机上通过02专项组织的验收测试(SAT),达到项目任务合同书规定的考核指标;
2018年3月“高NA浸没曝光照明系统关键技术研究”课题通过02专项正式验收。
4 团队建设
通过承担“国家科技重大专项02专项”核心光学任务,公司建立了一支以百余名硕士、博士研究为主体的研发团队。在高端光刻机照明系统方面,获得国内外授权发明专利100余项,在复杂非成像光学系统整体设计与仿真、深紫外激光光束整形与控制、照明光场均匀化与校正、深紫外激光脉冲能量探测等领域的技术水平处于国内领先地位。团队长期从事光机电算一体化技术、仪器设备研发与产品化,尤其在深紫外光学技术方面,拥有丰富的技术经验。
目前公司整体人员规模200余人,上海分公司团队成员70余名,其中硕士、博士学历占比52%,形成了一支以80、90后为主力军的年轻队伍。
我们始终秉承坚定目标、不辱使命,立足脚下、开创未来的经营宗旨和理念;坚持发现人才,尊重人才,以人为本,互相成就的用人理念;打造鼓励创新、不断突破、追求卓越的文化氛围,培养了一批具有责任感、创新精神的优秀人才,致力于为高端光刻机照明系统国产化奠定技术与人才基础。
5 平台建设
研发场地:拥有1210m2研发实验室,包括950m2超净室、260m2普通实验室;
研发设备:拥有数十台(套)精密检测设备,包括照明系统集成测试平台(2套)、ArF激光器、中心偏检测仪、激光干涉仪、光学镜面定位仪、非球面检测仪、光学定心车床等。
如果您希望与我们一起探索光刻世界的奥秘,如果您与我们一样立志为国家科技事业贡献一份力量,如果您相信自己具有创造奇迹的能力,欢迎您加入我们!您的梦想我们帮您实现,公司的愿景,让我们一起努力实现!
联系方式
- 公司地址:地址:span霍城路635号
招聘职位
职位名称 | 工作地区 | 更新日期 | 招聘人数 |
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电控工程师 | 上海-嘉定区 | 2020-12-19 | 2人 |
MEMS微镜工程师 | 上海-嘉定区 | 2020-12-11 | 1人 |
电路设计与测试工程师 | 上海-嘉定区 | 2020-12-10 | 2人 |
光学技术专家 | 上海-嘉定区 | 2020-12-03 | 2人 |
测试工程师 | 上海-嘉定区 | 2020-12-01 | 1人 |
光学镀膜技术员 | 上海-嘉定区 | 2020-11-24 | 2人 |
光机结构设计工程师 | 上海-嘉定区 | 2020-11-05 | 1人 |
光学设计高级工程师 | 上海-嘉定区 | 2020-11-03 | 2人 |
光学镀膜高级工程师 | 上海-嘉定区 | 2020-11-03 | 2人 |
采购助理(外协加工助理) | 上海-嘉定区 | 2020-10-15 | 1人 |