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清华大学IC装备超精密机械及测控研究室诚聘国内外优秀博士后

一、 清华大学IC装备超精密机械及测控研究室介绍

清华大学朱煜教授带领的国家重点领域“IC装备精密机械与测控”创新团队(简称IC装备团队)，核心团队包括9名教师、20多名在读博士/硕士研究生、30多名工程师。IC装备团队负责人朱煜教授现为机电所所长，入选国家“万人计划”首批科技创新领军人才，是02国家重大专项总体专家组副组长。IC团队围绕IC制造装备国家重大战略需求，针对光刻机工件台纳米级运动精度的技术目标，开展了超精密机械、测量、控制以及系统集成的协同创新研究，在基础理论、重大技术攻关及研发方面取得优秀成果，对相关领域与产业产生重要影响。2004年研制成功国内首台10nm精度同步扫描气浮运动试验系统；2008年研制出实现±2nm定位精度微动台；2009年承担02国家科技重大专项双工件台项目；2011年研制成功我国***台光刻机双工件台样机；2015年承担的02专项项目完成全部考核指标，该项目的完成标志着我国成为世界上少数可以研制光刻机双工件台这一超精密机械与测控技术领域最尖端系统的国家。IC团队重视基础理论和关键技术研究，着重培养超精密动力学系统与控制、纳米精度工程与测控技术、IC制造装备精密机电系统方面的领军人物和高端专业技术人才，提供先进的科研平台和教学实践基地。

二、 岗位描述

研究室与北京华卓精科科技股份有限公司联合承担国家02重大专项，研制用于高端光刻机的超精密双工件台系统。

分析方面主要针对光刻机工件台的系统动力学、流场-磁场-热场等多场耦合分析、高性能电磁驱动和超精密运动控制开展研究，突破关键技术，为产品设计提供支撑。

控制方面主要研究超精密双工件台的控制算法、控制策略、实时控制系统，综合应用过驱动/过测量、高阶动力学特性辨识/多入多出系统辨识、扰动建模和辨识方法等技术优化超精密双工件台的最终性能，突破关键技术，为产品控制系统设计和测试设计提供支撑。

测量方面主要开展超精密平面光栅读数头研制、高速高分辨率电子相位卡研制、平面光栅位置测量系统精度理论研究；以及光学自动对准/波前测量/周期测量/条纹锁定等分系统的研制、扫描干涉光刻系统精度理论研究。

研究室与北京华卓精科科技股份有限公司提供千级净化实验室、nm级磁浮运动平台、B&K振动测试系统、Speedgoat RCP开发平台，高性能仿真计算机等先进条件和设备，项目组拥有机械/软件/电气/硬件多学科团队，以及丰富的交流学习机会。

现面向海、内外公开招聘优秀博士后。

三、 岗位要求

(1) 二年内获得或近期即将获得自动化/数学/电子/物理学/机械工程/电气工程/力学/计算机/光学相关领域的博士学位，年龄不超过35周岁；

(2) 具有强烈的科学研究兴趣，良好的专业素质，以及较强的实验设计和动手能力；

(3) 具备较强的语言表达和沟通能力，责任心强，工作踏实主动，团队合作精神佳。

四、 岗位待遇

（1）享受清华大学博士后待遇（年薪10万-15万）和课题组津贴（每年至少2.4万）；课题组将根据应聘者的能力和业绩发放额外奖金；

（2）享受清华大学博士后其他福利政策，包括可租住博士后公寓或享受租房补贴4.2万元/年；解决子女入园、入学；享受清华大学教职工公费医疗、社会保险、住房公积金等；享受全国博管会关于出站博士后户口迁移及家属户口随迁等政策。

（3）博士后进站后将获得与课题相关的基础研究训练，协助PI开展课题研究，提供海外学术交流机会，相对独立地承担相关科研工作，协助指导研究生，参与申请科研经费及管理。

六、项目资助

鼓励并推荐博士后申报各类博士后资助项目，获批者同时享受项目资助经费。

1、中国博士后科学基金项目。特别资助：根据年度经费预算确定（15万左右）；面上一等资助：5万元；二等资助3万元。

2、博士后国际交流计划，国家给予两年60万元资助。

3、香江学者计划，给予两年30万元资助。

详情请浏览清华大学博士后网站：*********************************/。

七、联系方式

凡符合招聘岗位要求且有意向者，请通过电子邮件（主题请注明“博士后申请”）发送个人简历和联系方式等相关资料至zhangm@tsinghua.edu.cn。

应聘者申请材料我们将严格保密。

中心依托清华大学，以“产、学、研”模式开展精密机械与测控技术相关学术研究、关键装置与部件研制、样机制造，增强国内在精密制造装备高动态结构、超精密测量、高性能电机及控制等方面设计、分析、制造与集成的研发能力，推动总体研发水平的提升，并将努力建设成为***专门工程研发中心。

目前中心正承担国家重大项目、863、973等项目，期盼具有一定研究与开发能力的人才长期加入，研究并解决其中高度挑战性的工程关键技术问题，为当前以及未来***计划任务服务。

中心不仅是一支专门研发团队，而且是国内专门培养精密运动控制系统的人才基地，也是有志于未来从事此项事业人才的理想选择。

欢迎加入中心研发团队！