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北京科益虹源光电技术有限公司，成立于2016年7月29日，是专注光刻准分子激光技术研究和产业化的公司。公司已搭建起多个准分子激光技术研究、产品研发平台，拥有一支涵盖光、机、电、控、测、系统、集成等技术研发和生产制造能力的二百余人专业团队。
科益虹源是国家 02 重大专项光刻准分子激光器成果转化落地单位，光刻机零部件技术创新中心的牵头单位。作为国内具备高能准分子激光器研发和产品化能力的企业，科益虹源拥有国家02专项支持、10余年技术储备、杰出专业团队、知识产权积累丰富等多个核心竞争力。公司秉承“服务国家战略，实现产业价值”的使命，致力于打造高端光源领域的自主创新型企业，打破国际对集成电路高端光源的垄断，为国家相关产业和国防事业发展提供产品与技术支持。
主营产品：光刻用准分子激光器，目前已具备全序列准分子激光器的研发能力。
衍生产品：包括准分子激光器的翻新维护服务、集成电路检测光源、特种高压电源等。集电路检 测光源；准分子激光器的翻新维护服务；高功率准分子光源；特种高压电源 定制；准分子光源上游核心部件高性能纳米晶磁芯等。